大家好，我是小典，我来为大家解答以上问题。微电子集成电路，微电子，很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！

1、 微电子的基本工艺包括 PHOTO ACTIH CMP WAT 等。

2、0.18 0.22 90纳米工艺等。

本文到此讲解完毕了，希望对大家有帮助。